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螺杆真空泵
螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,在国内制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。
螺杆真空泵的用途:
两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。
螺杆真空泵的优点
目前各种真空泵的发展愈来愈受到真空应用场合的影响,一般的真空系统无法满足清洁无油及耐腐蚀的要求,因此近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已被无油清洁的真空系统所代替。国外几乎每一家较大的真空公司都生产各种不同型式的干式真空泵.螺杆真空泵属于非接触型干式泵,是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种,以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点得以广泛应用。
干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在欧美和日本目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备,日本在螺杆压缩机基础上,很早就研发出了真空泵的多头转子型线,并投入市场。德国几家真空设备公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线,并在转子和机体冷却方面做了很多研究。中国企业在2008年也将螺杆真空泵的生产进入批量化生产,在化工制药等行业得到很好的应用。
螺杆真空泵的结构
传动轴连接主动转子,通过同步齿轮带动从动转子旋转,在壳体上开有冷却水通道,用来冷却转子和排气口温度,同步齿轮及轴承用油润滑,轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似,一般真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上,目前通用的是直连电机,用联轴器与转子连接,极少数用皮带或者传动链传动。 等螺距螺杆泵由于无内压缩过程,排气温度非常高,如冷却效果不好,会造成转子和机壳变形,影响抽气效果。冷却机壳是必不可少的一个环节,水冷是最常见的方法,在机壳本体、轴承外侧通冷却水,可以达到冷却壳体进而冷却转子的目的。
参数 |
单位 |
TDP-200 |
TDP-300 |
TDP-400 |
TDP-600 |
TDP-800 |
TDP-1500 |
抽气量(50Hz) |
m3/h |
150 |
250 |
350 |
450 |
600 |
1200 |
L/mim |
2500 |
4100 |
5800 |
7500 |
10000 |
20000 |
|
极限压力(50Hz) |
Torr |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
0.05 |
0.1 |
Pa |
6.66 |
6.66 |
6.66 |
6.66 |
6.66 |
13.3 |
|
电机功率 |
KW |
5.5 |
7.5 |
11 |
15 |
18.5 |
37 |
转速 |
rpm |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
2900 |
1450 |
进气口径 |
mm |
50 |
50 |
65 |
80 |
100 |
125 |
排气口径 |
mm |
40 |
40 |
50 |
50 |
65 |
80 |
冷却水量 |
L/min |
7 |
10 |
15 |
15 |
20 |
30 |
噪音(50Hz) |
dB |
75 |
75 |
75 |
75 |
78 |
78 |
重量 |
Kg |
230 |
280 |
340 |
580 |
650 |
1150 |
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